9025804030
- Dichtemesser (Aräometer, Senkwaagen) und ähnliche schwimmende Instrumente, Thermometer, Pyrometer, Barometer, Hygrometer und Psychrometer, auch mit Registriervorrichtung, auch miteinander kombiniert
- andere Instrumente
- andere
- elektronische
- andere
- elektronischer barometrischer Halbleiter-Drucksensor in einem Gehäuse, im Wesentlichen bestehend aus
- der Kombination einer oder mehrerer anwendungsspezifischen monolithisch integrierten Schaltung (ASIC) und
- mindestens einem oder mehreren mikromechanischen Sensorelement(en) (MEMS) mit mechanischen Elementen in dreidimensionalen Strukturen auf dem Halbleitermaterial in Halbleitertechnik gefertigt