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- Instrumente, Apparate, Geräte und Maschinen zum Messen oder Prüfen, in diesem Kapitel anderweit weder genannt noch inbegriffen; Profilprojektoren
- andere optische Instrumente, Apparate und Geräte
- zum Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen (einschließlich integrierter Schaltungen) oder zum Prüfen von Fotomasken und Reticles für die Herstellung von Halbleiterbauelementen (einschließlich integrierter Schaltungen)