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Dichtemesser (Aräometer, Senkwaagen) und ähnliche schwimmende Instrumente, Thermometer, Pyrometer, Barometer, Hygrometer und Psychrometer, auch mit Registriervorrichtung, auch miteinander kombiniert
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  • Dichtemesser (Aräometer, Senkwaagen) und ähnliche schwimmende Instrumente, Thermometer, Pyrometer, Barometer, Hygrometer und Psychrometer, auch mit Registriervorrichtung, auch miteinander kombiniert
  • andere Instrumente
  • andere
  • elektronische
  • andere
  • elektronischer barometrischer Halbleiter-Drucksensor in einem Gehäuse, im Wesentlichen bestehend aus


    - der Kombination einer oder mehrerer anwendungsspezifischen monolithisch integrierten Schaltung (ASIC) und


    - mindestens einem oder mehreren mikromechanischen Sensorelement(en) (MEMS) mit mechanischen Elementen in dreidimensionalen Strukturen auf dem Halbleitermaterial in Halbleitertechnik gefertigt

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