9031410000
- Instruments, appareils et machines de mesure ou de contrôle, non dénommés ni compris ailleurs dans le présent chapitre; projecteurs de profils
- autres instruments et appareils optiques
- pour le contrôle des disques ou des dispositifs à semi-conducteur (y compris les circuits intégrés) ou pour le contrôle des masques photographiques ou des réticules utilisés dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteur (y compris les circuits intégrés)